[发明专利]制造EUV模块的方法、EUV模块和EUV光刻系统有效
| 申请号： | 201680021433.2 | 申请日： | 2016-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN107531581B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | A.施梅尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B37/00 | 分类号： | C04B37/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明关于一种涂布意图用于EUV光刻系统(500)的陶瓷材料(100)的EUV子模块(120、130)的表面(101)的方法。首先，金属焊料(114)在陶瓷基板(100)的表面(101)的整个表面区域之上施加于所述表面。然后，执行热处理以在陶瓷材料(100)与金属焊料(114)之间制造材料键结(116)。此外，本发明还关于一种制造EUV模块(200)的方法。为此目的，通过上述方法分别涂布其整个表面区域之上的至少两个EUV子模块(120、130)通过焊接或粘合键结而接合。再者，本发明关于一种EUV子模块(120、130)、一种EUV模块(200)以及一种EUV光刻系统。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 euv 模块 方法 光刻 系统 | ||
【主权项】：
一种涂布陶瓷材料(100)的EUV子模块(120、130)的表面(101)的方法，该EUV子模块意图用于EUV光刻系统，包含：‑将金属焊料(114)施加于该表面(101)的整个表面区域上方；‑热处理以在该陶瓷材料(100)与该金属焊料(114)之间产生材料键结(116)。
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