[发明专利]制造EUV模块的方法、EUV模块和EUV光刻系统有效
| 申请号： | 201680021433.2 | 申请日： | 2016-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN107531581B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | A.施梅尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B37/00 | 分类号： | C04B37/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 euv 模块 方法 光刻 系统 | ||
1.一种涂布陶瓷材料(100)的EUV子模块(120、130)的表面(101)的方法，该EUV子模块意图用于EUV光刻系统，包含：
-将金属焊料(114)施加于该表面(101)的整个表面区域上方；
-热处理以在该陶瓷材料(100)与该金属焊料(114)之间产生材料键结(116)。
2.如权利要求1所述的方法，该金属焊料(114)通过丝网印刷、喷涂、浸渍、或延展来施加。
3.如权利要求1或2所述的方法，其中至少一个夹持部件(160)与该EUV子模块(120、130)接合。
4.如权利要求3所述的方法，其中至少一个传感器安装架与该EUV子模块(120、130)接合。
5.如权利要求3所述的方法，其中该夹持部件(160)通过焊接，和/或通过粘合键结来接合。
6.如权利要求5所述的方法，其中该夹持部件(160)采用硬焊料来接合。
7.如权利要求5所述的方法，其中该夹持部件(160)采用陶瓷粘合剂来接合。
8.一种制造EUV模块(200)的方法，包含：
-提供分别通过如权利要求1或2所述的方法涂布的至少两个EUV子模块(120、130)；
-将提供的EUV子模块(120、130)接合。
9.如权利要求8所述的方法，提供的EUV子模块(120、130)通过焊接，和/或通过粘合键结来接合。
10.如权利要求9所述的方法，提供的EUV子模块(120、130)采用硬焊料来接合。
11.如权利要求9所述的方法，提供的EUV子模块(120、130)采用陶瓷粘合剂来接合。
12.如权利要求8至11中任一项所述的方法，其中至少一个夹持部件(160)与该EUV子模块(120、130)或与该EUV模块(200)接合。
13.如权利要求12所述的方法，其中至少一个传感器安装架与该EUV子模块(120、130)或与该EUV模块(200)接合。
14.如权利要求12所述的方法，其中该夹持部件(160)通过焊接，和/或通过粘合键结来接合。
15.如权利要求14所述的方法，其中该夹持部件(160)采用硬焊料来接合。
16.如权利要求14所述的方法，其中该夹持部件(160)采用陶瓷粘合剂来接合。
17.一种意图用于EUV光刻系统的EUV子模块(120、130)，
-具有陶瓷体(100)，以及
-具有覆盖该陶瓷体(100)整个表面区域上方的金属焊料(114)、存在于该陶瓷体(100)与该金属焊料(114)之间的材料键结(116)。
18.如权利要求17所述的EUV子模块(120、130)，其中该金属焊料(114)具有一厚度，其介于5μm至300μm之间。
19.如权利要求18所述的EUV子模块(120、130)，其中该金属焊料(114)具有一厚度，其介于20μm至200μm之间。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司，未经卡尔蔡司SMT有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201680021433.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：从多晶金刚石石板提取催化剂材料
- 下一篇：蜂窝结构体
