[发明专利]用于确定在衬底中的平面内变形的方法及系统

摘要

本发明揭示衬底的平面内变形的确定，其包含：测量所述衬底在未夹紧状态中的一或多个平面外变形；基于所述衬底在所述未夹紧状态中的所述所测量平面外变形确定在所述未夹紧状态中的所述衬底上的膜的有效膜应力；基于在所述未夹紧状态中的所述衬底上的所述膜的所述有效膜应力确定所述衬底在夹紧状态中的平面内变形；及基于所述所测量平面外变形或所述所确定平面内变形中的至少一者调整处理工具或叠加工具中的至少一者。

主权项

一种用于确定衬底的平面内变形的系统，其包括：衬底几何形状测量工具，其经配置以测量所述衬底在未夹紧状态中的平面外变形；及控制器，其以通信方式耦合到所述测量工具，所述控制器包含经配置以执行一组程序指令的一或多个处理器，所述程序指令经配置以致使所述一或多个处理器：从所述测量工具接收指示所述衬底在所述未夹紧状态中的平面外变形的一或多个测量结果；使用二维平板模型基于所述衬底在所述未夹紧状态中的所述所测量平面外变形确定所述衬底在所述未夹紧状态中的有效表面膜应力；使用所述二维平板模型基于所述衬底在所述未夹紧状态中的所述有效表面膜应力确定所述衬底在夹紧状态中的平面内变形；及基于所述所测量平面外变形或所述所确定平面内变形中的至少一者调整处理工具或计量工具中的至少一者。