[发明专利]使用了硫鎓盐的电镀液有效
申请号: | 201680018791.8 | 申请日: | 2016-03-24 |
公开(公告)号: | CN107406998B | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 中矢清隆;渡边真美 | 申请(专利权)人: | 三菱综合材料株式会社 |
主分类号: | C25D3/32 | 分类号: | C25D3/32;C25D3/60;H01L21/60 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 康泉;王珍仙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种电镀液,该电镀液包含:(A)至少包含亚锡盐的可溶性盐;(B)选自有机酸及无机酸中的酸或其盐;及(C)添加剂,其包含硫鎓盐,该硫鎓盐包含一个或两个以上的芳香族环。 | ||
搜索关键词: | 使用 硫鎓盐 电镀 | ||
【主权项】:
1.一种电镀液,其包含:(A)至少包含亚锡盐的可溶性盐;(B)选自有机酸及无机酸中的酸或其盐;及(C)添加剂,所述电镀液的特征在于,所述添加剂包含由以下通式(1)表示的包含一个或两个以上的芳香族环的硫鎓盐,所述可溶性金属盐在所述电镀液中的含量为30g/L~100g/L,所述酸或其盐在所述电镀液中的含量为80g/L~300g/L,所述硫鎓盐在所述电镀液中的含量为0.1g/L~10g/L,[化学式1]
其中,式(1)中,R1、R2可以相同或不同,表示苯基、羟基苯基、甲苯基、氢原子、CnH2n+1,其中n=1~5,Ph表示苯基,X表示卤素。
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