[发明专利]基板收纳容器有效
申请号: | 201680018405.5 | 申请日: | 2016-02-22 |
公开(公告)号: | CN107431036B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 加藤胜彦;三村博;波贺野贤 | 申请(专利权)人: | 信越聚合物株式会社 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;B65D85/86 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 章蕾 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明既维持基板收纳容器内的保持部的槽内的基板的顺利的上下移动,且也实现减少基板端面附近的与保持部的擦痕。本发明涉及一种基板收纳容器(1),具备收纳基板(W)的至少一侧开口的容器主体(2)、及能够装卸于该容器主体(2)的开口部(5)使之开闭自如的盖体(3),且在容器主体(2)的内部,具备附有将基板(W)的后方部位予以保持的第一保持槽(12a)的第一保持部(12),在盖体(3)的内侧,具备附有将基板(W)的前方部位予以保持的第二保持槽(25a)的第二保持部(25),使第一保持部(12)中的至少第一保持槽(12a)由以聚碳酸酯树脂与聚对苯二甲酸丁二酯树脂为主的合金树脂构成。 | ||
搜索关键词: | 收纳 容器 | ||
【主权项】:
一种基板收纳容器,具备收纳基板的至少一侧开口的容器主体、及能够装卸于该容器主体的开口部使之开闭自如的盖体,且在所述容器主体的内部,具备附有将所述基板的后方部位予以保持的第一保持槽的第一保持部,在所述盖体的内侧,具备附有将所述基板的前方部位予以保持的第二保持槽的第二保持部,使所述第一保持部中的至少所述第一保持槽由以聚碳酸酯树脂与聚对苯二甲酸丁二酯树脂为主的合金树脂构成。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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