[发明专利]检查装置以及检查系统有效
| 申请号： | 201680008565.1 | 申请日： | 2016-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN107209126B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 冈田敬夫;田中隆;竹下洸资 | 申请（专利权）人： | 博世包装技术株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 闫小龙;杜荔南<国际申请>=PCT/JP |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 检查装置1具备：对具有亮部T1和比亮部T1昏暗的暗部T2的被检物T进行照明的照明部2、将来自被照明部2照明后的被检物T的物光分割为通过分别不同的光路的第一光L1和第二光L2的光路分割部3、使通过光路分割部3后的第一光L1的光量降低的滤光器4、通过滤光器4后的第一光L1进行成像的第一摄像部5a、通过光路分割部3后的第二光L2进行成像的第二摄像部5b、以及根据由第一摄像部5a摄像的亮部的信息和由第二摄像部5b摄像的暗部的信息检查被检物的缺陷的有无的检查部7。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，其中，具备：/n照明部，对具有亮部和比所述亮部昏暗的暗部的被检物进行照明；/n光路分割部，将来自被所述照明部照明后的所述被检物的物光分割为通过分别不同的光路的第一光和第二光；/n滤光器，使通过所述光路分割部后的所述第一光的光量降低；/n第一摄像部，在其中，通过所述滤光器后的所述第一光进行成像；/n第二摄像部，在其中，通过所述光路分割部后的所述第二光进行成像；以及/n检查部，根据由所述第一摄像部摄像的亮部的信息和由所述第二摄像部摄像的暗部的信息检查所述被检物的缺陷的有无。/n
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