[发明专利]用于高产率在制品缓冲的系统及方法有效
| 申请号： | 201680008218.9 | 申请日： | 2016-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN107210257B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·布雷恩 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于半导体装置制作工具的缓冲系统包含：一或多个可伸缩架子；一或多个滑动组合件，其可定位于所述半导体装置制作工具的一或多个装载端口上方；及一或多个举升组合件。所述一或多个可伸缩架子经配置以支撑可密封容器。所述一或多个滑动组合件经配置以接收所述可密封容器且进一步经配置以将所述可密封容器输送到一或多个可伸缩架子下方的一或多个位置。所述一或多个举升组合件经配置以使可密封容器在包含一或多个可伸缩架子、所述一或多个滑动组合件及所述一或多个装载端口的群组中的任何两者之间输送。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高产 制品 缓冲 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于半导体装置制作工具的缓冲系统，其包括：一或多个可伸缩架子，其中所述一或多个可伸缩架子经配置以支撑可密封容器；一或多个滑动组合件，其可定位于所述半导体装置制作工具的一或多个装载端口上方，其中所述一或多个滑动组合件经配置以将所述可密封容器输送到所述一或多个可伸缩架子下方的一或多个位置；及一或多个举升组合件，其中所述一或多个举升组合件经配置以使所述可密封容器在包含所述一或多个可伸缩架子、所述一或多个滑动组合件及所述一或多个装载端口的群组中的任何两者之间输送。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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