[发明专利]等离子体处理装置用制冷装置

摘要

本发明提供等离子体处理装置用制冷装置，即使在工作对象的等离子体处理装置中的试样的表面积大、兼作试样台的下部电极为大型的情况下也能高精度地进行保温控制，能够使试样以所要求的精度均匀地蚀刻。在该制冷装置中，在将包括加热装置的制冷剂循环所连接的等离子体处理装置(400)应用的结构中，以能够形成分支的方式将制冷剂流路附设在兼作应对试样(404)的表面积大时的大型试样台的下部电极(403)，在连接于制冷剂循环的下部电极制冷剂管的对下部电极(403)保温的保温部的制冷剂流路附近设置温度传感器，针对温度传感器检测的下部电极制冷剂管制冷剂检测温度进行包括比例、积分、微分的PID运算，控制装置将基于PID运算结果生成的加热调整控制信号发送到加热装置，进行使下部电极制冷剂管制冷剂检测温度变成设定温度的反馈控制。

主权项

1.一种等离子体处理装置用制冷装置，其在冷却用的制冷循环和加热用的包含加热装置的制冷剂循环中共用作为热交换器的蒸发器，具有根据由使用者设定的设定温度和该制冷剂循环所连接的工作对象的工作对象温度的温差，用控制装置控制该制冷循环的电动式压缩机的转数、该制冷剂循环中的制冷剂罐所连接的泵的制冷剂流量、以及该加热装置的加热温度来对工作对象进行保温的功能，并且该制冷装置将等离子体处理装置适用于该工作对象，所述等离子体处理装置为了对成为目标的试样进行蚀刻而进行等离子体处理，所述等离子体处理装置用制冷装置的特征在于，/n所述等离子体处理装置在真空容器内包括：/n下部电极，其兼作为与所述试样的表面积大的情况对应的大型的试样台而载置该试样；/n下部电极制冷剂管，其包含保温部并与所述制冷剂循环连接，所述保温部以能够使制冷剂流路形成分支的方式附设在所述下部电极的载置所述试样一侧的相反侧的面，对该下部电极进行保温；/n下部电极制冷剂管用制冷剂温度传感器，其设置在所述下部电极制冷剂管的所述保温部的制冷剂流路附近，将检测该下部电极制冷剂管的制冷剂温度的结果作为表示所述工作对象温度的下部电极制冷剂管制冷剂检测温度而输出，/n此外还包括：/n上部电极，其与所述下部电极相向并配置在所述真空容器内，并且整体地具有盖部；/n上部电极制冷剂管，其附设在所述上部电极并与所述制冷剂循环连接，所述上部电极制冷剂管包括对该上部电极进行保温的保温部；/n真空容器制冷剂管，其附设在所述真空容器的壁部且与所述制冷剂循环连接，并且包括对该真空容器的壁部进行保温的保温部；/n上部电极制冷剂管用制冷剂温度传感器，其设置在所述上部电极制冷剂管的保温部的制冷剂流路附近，将检测该上部电极制冷剂管的制冷剂温度的结果作为表示所述工作对象温度的上部电极制冷剂管制冷剂检测温度而输出；/n真空容器制冷剂管用制冷剂温度传感器，其设置在所述真空容器制冷剂管的保温部的制冷剂流路附近，将检测该真空容器制冷剂管的制冷剂温度的结果作为表示所述工作对象温度的真空容器制冷剂管制冷剂检测温度而输出，/n所述制冷剂循环包括：/n工作对象吸入侧温度传感器，其设置在所述等离子体处理装置的制冷剂吸入侧，将检测制冷剂返回温度的结果作为制冷剂返回检测温度而输出；/n工作对象排出侧温度传感器，其设置在所述等离子体处理装置的制冷剂排出侧，将检测制冷剂排出温度的结果作为制冷剂排出检测温度而输出，/n所述控制装置进行第1反馈控制并且进行第2反馈控制或者进行第3反馈控制，在所述第1反馈控制中，所述控制装置对所述下部电极制冷剂管用制冷剂温度传感器检测的所述下部电极制冷剂管制冷剂检测温度进行包括比例、积分、微分的PID运算，基于PID运算结果生成用于对所述加热装置的加热程度进行调整控制的加热调整控制信号并发送到该加热装置，以使该下部电极制冷剂管制冷剂检测温度变成所述设定温度；在所述第2反馈控制中，所述控制装置为了使所述工作对象吸入侧温度传感器检测的所述制冷剂返回检测温度变成所述制冷剂返回温度的设定值，基于对该下部电极制冷剂管用制冷剂温度传感器检测的该下部电极制冷剂管制冷剂检测温度进行包括比例、积分、微分的PID运算的结果、对所述上部电极制冷剂管用制冷剂温度传感器检测的所述上部电极制冷剂管制冷剂检测温度进行包括比例、积分、微分的PID运算的结果、和对所述真空容器制冷剂管用制冷剂温度传感器检测的所述真空容器制冷剂管制冷剂检测温度进行包括比例、积分、微分的PID运算的结果，分别生成用于调整控制该加热装置的加热程度的加热调整控制信号并发送到该加热装置，在所述第3反馈控制中，所述控制装置为了使所述工作对象排出侧温度传感器检测的所述制冷剂排出检测温度变成所述制冷剂排出温度的设定值，基于对该下部电极制冷剂管用制冷剂温度传感器检测的该下部电极制冷剂管制冷剂检测温度进行包括比例、积分、微分的PID运算的结果、对所述上部电极制冷剂管用制冷剂温度传感器检测的所述上部电极制冷剂管制冷剂检测温度进行包括比例、积分、微分的PID运算的结果、和对所述真空容器制冷剂管用制冷剂温度传感器检测的所述真空容器制冷剂管制冷剂检测温度进行包括比例、积分、微分的PID运算的结果，分别生成用于调整控制该加热装置的加热程度的加热调整控制信号并发送到该加热装置。/n