[实用新型]一种前端开启式晶圆传送盒的内部环境取样装置有效
| 申请号： | 201621438234.5 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN206378328U | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 严拯;方明海;廖璞;时寒;高云霞 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/22 | 分类号： | G01N1/22 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供前端开启式晶圆传送盒的内部环境取样装置，属于半导体制造技术领域，包括取样盖，取样盖的尺寸与前端开启式晶圆传送盒的尺寸相配合，取样盖与晶圆载体连接构成密闭空间，取样盖上设有安装孔；密封塞，密封塞设置于安装孔内，密封塞为空心管状结构；取样管，取样管具有管状部和球形部，球形部设置于管状部的底部且与管状部连通，球形部上均匀布设有至少三个进气孔，管状部设置于密封塞内，球形部位于密闭空间内。本实用新型的有益效果取样精度更高，更便捷的对前端开启式晶圆传送盒的内部环境进行监控，更有效的对由于前端开启式晶圆传送盒的内部环境导致晶圆产生缺陷的案例进行取样分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 前端 开启 式晶圆 传送 内部 环境 取样 装置 | ||
【主权项】：
一种前端开启式晶圆传送盒的内部环境取样装置，其特征在于，包括：取样盖，所述取样盖的尺寸与前端开启式晶圆传送盒的尺寸相配合，所述取样盖与所述前端开启式晶圆传送盒连接构成密闭空间，所述取样盖上设有安装孔；密封塞，所述密封塞设置于所述安装孔内，所述密封塞为空心管状结构；取样管，所述取样管具有管状部和球形部，所述球形部设置于所述管状部的底部且与所述管状部连通，所述球形部上均匀布设有至少三个进气孔，所述管状部设置于所述密封塞内，所述球形部位于所述密闭空间内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉新芯集成电路制造有限公司，未经武汉新芯集成电路制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621438234.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
