[实用新型]一种前端开启式晶圆传送盒的内部环境取样装置有效
| 申请号： | 201621438234.5 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN206378328U | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 严拯;方明海;廖璞;时寒;高云霞 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/22 | 分类号： | G01N1/22 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 前端 开启 式晶圆 传送 内部 环境 取样 装置 | ||
1.一种前端开启式晶圆传送盒的内部环境取样装置，其特征在于，包括：
取样盖，所述取样盖的尺寸与前端开启式晶圆传送盒的尺寸相配合，所述取样盖与所述前端开启式晶圆传送盒连接构成密闭空间，所述取样盖上设有安装孔；
密封塞，所述密封塞设置于所述安装孔内，所述密封塞为空心管状结构；
取样管，所述取样管具有管状部和球形部，所述球形部设置于所述管状部的底部且与所述管状部连通，所述球形部上均匀布设有至少三个进气孔，所述管状部设置于所述密封塞内，所述球形部位于所述密闭空间内。
2.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样盖的长×宽×高为364mm×305×3mm。
3.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样盖的长×宽×高为426mm×337×3mm。
4.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述安装孔的直径为10mm。
5.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述密封塞的外圈直径为10mm，所述密封塞的内圈直径为6mm。
6.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样管的所述管状部和所述球形部的总长为120mm。
7.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样管的所述管状部的直径为6mm。
8.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样管的所述管状部位于所述密闭空间的外侧部分高于所述密封塞30mm。
9.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样管的所述球形部的直径为30mm。
10.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样管的所述球形部位于所述密闭空间的中部。
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