[实用新型]一种压力传感器与气体传感器的集成装置及封装结构有效
| 申请号： | 201621402882.5 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN206362480U | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 王德信 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种压力传感器与气体传感器的集成装置及封装结构，包括衬底，在所述衬底的一侧端面上设置有下电极，还包括通过支撑部支撑在下电极上且对气压敏感的上电极，所述上电极、下电极构成了用于测量压力的平板电容器结构；在所述衬底的另一侧端面上设置有测量电极，在所述测量电极上设置有裸露在外且对气体敏感的敏感材料层，所述测量电极、敏感材料层构成了用于测量气体的电阻器结构。本实用新型的集成装置，将压力传感器、气体传感器设置在同一衬底相对的两侧，使得可以在同一芯片上制作出压力传感器结构和气体传感器结构，从而可以降低大幅芯片的占用面积，大大减小整个封装的尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 气体 传感器 集成 装置 封装 结构 | ||
【主权项】：
一种压力传感器与气体传感器的集成装置，其特征在于：包括衬底(1)，在所述衬底(1)的一侧端面上设置有下电极(3)，还包括通过支撑部(4)支撑在下电极(3)上且对气压敏感的上电极(5)，所述上电极(5)、下电极(3)构成了用于测量压力的平板电容器结构；在所述衬底(1)的另一侧端面上设置有测量电极(11)，在所述测量电极(11)上设置有裸露在外且对气体敏感的敏感材料层(12)，所述测量电极(11)、敏感材料层(12)构成了用于测量气体的电阻器结构。
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