[实用新型]一种用于制绒的自动补液器有效
申请号: | 201621296917.1 | 申请日: | 2016-11-30 |
公开(公告)号: | CN206370405U | 公开(公告)日: | 2017-08-01 |
发明(设计)人: | 费浩亮 | 申请(专利权)人: | 湖州浩森科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州知瑞知识产权代理有限公司33271 | 代理人: | 陈宜芳 |
地址: | 313000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于制绒的自动补液器,包括制绒机、补液部件和补液管,所述的补液部件包括添加剂容器、补液泵,所述的补液泵一端与所述的添加剂容器相连,另一端与所述的补液管相连,所述的制绒机上设有感应器,所述的感应器包括标准线感应器、上限感应器和下限感应器。本实用新型的优点为添加方式合理,添加量可以得到精准控制,而且添加时,个地方添加剂瞬时浓度相近,不会导致浓度不均匀,提高了硅片的质量;节省了人力,通过三大传感器的作用,实现了自动加液,自动停止,自动排泄的功能,确保加液安全有效;设置了泄压口,有效的防止了机器故障时添加液过多而导致材料的浪费。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 自动 补液 | ||
【主权项】:
一种用于制绒的自动补液器,包括制绒机(1)、补液部件(2)和补液管(3),所述的补液部件(2)包括添加剂容器(21)、补液泵(22),所述的补液泵(22)一端与所述的添加剂容器(21)相连,另一端与所述的补液管(3)相连,其特征在于,所述的制绒机(1)上设有感应器(4),所述的感应器(4)包括标准线感应器(42)、上限感应器(43)和下限感应器(41),所述的标准线感应器(42)设置与硅片(11)上方,所述的上限感应器(43)设置在所述标准感应器(42)的上方,所述的下限感应器(41)设置在硅片(11)的下方;所述的感应器(4)与所述的补液部件(2)相连;所述的补液管(3)的一端与所述的补液部件(2)连接,且所述的补液管(3)的另一端均匀分布在所述的制绒机(1)的制绒槽(12)内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造