[实用新型]一种纳米镀膜设备行星回转货架装置

摘要

一种纳米镀膜设备行星回转货架装置，属于真空镀膜技术领域。该装置中，腔室顶部连接抽气口，腔室中心轴位置安装有中空管，中空管上端连接到抽气口，腔室底部安装有旋转电机，旋转电机上安装有行星回转货架；行星回转货架中，旋转轴与旋转电机连接，旋转轴与中空管同轴，旋转轴上固定设置旋转置物架，旋转置物架上对称设置有至少两根行星旋转轴，行星转转轴上设置至少一层置物台，置物台上放置待处理的工件。本实用新型具有的有益效果：镀膜过程中行星回转货架公转和自转的持续双重旋转，避免出现因各区域化学单体气体密度不均匀造成固定区域的工件涂层厚度不均匀现象。同时，行星回转货架转动也有利于将进入腔室内的化学单体气体充分混合均匀。

主权项

一种纳米镀膜设备行星回转货架装置，其特征在于：包括腔室，所述腔室(3)顶部连接抽气口(2)，抽气口连接真空泵(1)，进气阀(4)通过进气管路与腔室(3)连接，加料阀(5)通过加料管路与腔室(3)连接，射频电源(12)通过导线与腔室(3)内电极连接，腔室中心轴位置安装有中空管(10)，中空管上开有通孔，所述中空管上端连接到抽气口，所述腔室底部安装有旋转电机(9)，旋转电机上安装有行星回转货架；所述行星回转货架包括旋转轴、旋转置物架(11)，所述旋转轴与旋转电机连接，旋转轴与中空管同轴，旋转轴上固定设置旋转置物架(11)，旋转置物架上对称设置有至少两根行星旋转轴(6)，所述行星转转轴上设置至少一层置物台(8)，所述行星旋转轴垂直于旋转置物架且可自转，置物台上放置待处理的工件(7)。