[实用新型]一种MEMS麦克风单体有效
| 申请号： | 201621261208.X | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN206302570U | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 赵洁;袁兆斌;吴安生 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MEMS麦克风单体，包括具有背腔的衬底，以及设置在衬底上方的背极、振膜，所述背极与振膜构成了平板式电容器结构；在所述衬底背腔的侧壁位置上设置有阻碍胶水攀爬的阻止部。本实用新型的MEMS麦克风，其结构简单，通过阻止部可以有效地防止胶水沿衬底侧壁攀爬，保证了麦克风的性能。在生产制造的时候，使得产线无需过度管控MEMS爬胶以及MEMS粘片的涂胶量问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 单体 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风单体，其特征在于：包括具有背腔的衬底(1)，以及设置在衬底(1)上方的背极(3)、振膜(2)，所述背极(3)与振膜(2)构成了平板式电容器结构；在所述衬底(1)背腔的侧壁位置上设置有阻碍胶水攀爬的阻止部。
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