[实用新型]化学机械研磨系统的基板装载装置有效
| 申请号： | 201621252021.3 | 申请日： | 2016-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN206527634U | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 权赫泰 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/11;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种化学机械研磨系统的基板装载装置及其控制方法，就用于将基板装载于研磨头的化学机械研磨系统的基板装载装置而言，其包括放置部，其放置基板；基板浮起部，其使基板从放置部浮起，使得基板在从放置部浮起的状态下装载于研磨头，由此可以得到在基板不受损伤的情况下稳定地装载基板的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 系统 装载 装置 | ||
【主权项】：
一种基板装载装置，其为用于将基板装载于研磨头的化学机械研磨系统的，其特征在于，包括：放置部，其放置基板；基板浮起部，其使所述基板从所述放置部浮起；所述基板在从所述放置部浮起的状态下装载于所述研磨头。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于K.C.科技股份有限公司，未经K.C.科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621252021.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：分层采样器
- 下一篇：一种自动封口的水质采集装置
