[实用新型]一种泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴有效
| 申请号： | 201621229371.8 | 申请日： | 2016-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN207108505U | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 程佳彪;张华芹;缪锦泉 | 申请（专利权）人： | 上海韵申新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙)31306 | 代理人： | 唐海波 |
| 地址： | 201612 上海市松江区漕河泾开发*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴，包括相连的泡罩喷头组件和接管，所述泡罩喷头组件包括喷头底座和泡罩式喷头，所述喷头底座一端与所述接管相连，另一端与所述泡罩式喷头一端相连，所述泡罩式喷头另一端中心和侧面上设有通孔；通孔的开孔直径和开孔率根据炉体和底盘结构可调，接管高度根据底盘喷嘴的布置方位可调，可以实现轴向气体射流速度满足循环条件和顶部硅的均匀沉积，而周向气体可以实现底部气体流动和浓度均匀，但不对底部硅棒形成气流冲击。同时，喷嘴可以实现高度和流速可调。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 泡罩式可 调节 多晶 还原 喷嘴 | ||
【主权项】：
一种泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴，其特征在于，所述泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴包括相连的泡罩喷头组件和接管，所述泡罩喷头组件包括喷头底座和泡罩式喷头，所述喷头底座一端与所述接管相连，另一端与所述泡罩式喷头一端相连，所述泡罩式喷头另一端的中心和侧面上设有通孔。
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