[实用新型]自动硅料清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种自动硅料清洗装置，其技术方案要点是包括浸泡箱，所述浸泡箱内设置有清洗花篮，所述清洗花篮为棱柱形，所述清洗花篮通体设置有若干筛孔，所述清洗花篮表面上开设有开口，所述开口上设置有提篮盖，所述提篮盖上设置有旋转轴，所述旋转轴与所述提篮盖旋转连接，所述旋转轴上固定设置有旋转闩，所述提篮开口两侧设置有供旋转闩旋转时插入的旋转孔。本实用新型解决了放置在清洗提篮内的硅片在清洗的过程中可能会脱离出花篮而造成对硅片的损坏问题。

主权项

一种自动硅料清洗装置，包括浸泡箱(1)，其特征在于：所述浸泡箱(1)内设置有清洗花篮，所述清洗花篮为棱柱形，所述清洗花篮通体设置有若干筛孔(236)，所述清洗花篮表面上开设有提篮开口(231)，所述提篮开口(231)上设置有提篮盖(232)，所述提篮盖(232)上设置有旋转轴(233)，所述旋转轴(233)与所述提篮盖(232)旋转连接，所述旋转轴(233)上固定设置有旋转闩(234)，所述提篮开口(231)两侧设置有供旋转闩(234)旋转时插入的旋转孔(235)。