[实用新型]用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点有效
| 申请号： | 201621194659.6 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN206148412U | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 支凯飞;杨辉;李伟乐 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司;洛阳尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/687;H01L31/18;C23C16/458 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 | 代理人： | 曹祖良,刘海 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点，包括固定部，其特征是在所述固定部的两侧面设置平台，在平台上设置卡点，卡点具有短边和长边；所述卡点的长边大于平台的尺寸，卡点超出平台的区域与固定部之间形成卡槽。本实用新型所述用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点，采用菱形或一字型卡点，减少了石墨卡点对电池片覆盖区域的面积；同时，卡点与固定部之间设置圆形平台，最大面积的增加耐磨区的宽度，保证了石墨卡点的耐磨性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 太阳能电池 pecvd 工序 石墨 舟卡点 | ||
【主权项】：
一种用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点，包括固定部（1），其特征是：在所述固定部（1）的两侧面设置平台（2），在平台（2）上设置卡点（3），卡点（3）具有短边和长边；所述卡点（3）的长边大于平台（2）的尺寸，卡点（3）超出平台（2）的区域与固定部（1）之间形成卡槽（4）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
