[实用新型]应用于太阳能扩散设备的分片装置有效
| 申请号： | 201621153622.9 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN206098362U | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 秦志华;林斌;闻震利;陈源集 | 申请（专利权）人： | 中硅索纳（厦门）新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京金蓄专利代理有限公司11544 | 代理人： | 孙巍 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市火*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的是应用于太阳能扩散设备的分片装置，包括内空且两端封闭的主管体，该主管体的左端面设有与空压机连通的进气调节装置，该主管体的前端面设有高压电源控制调节电路板，该主管体的后端面均布有多个安装板，所述主管体的底面设有多个从左至右间隔布置的静电排除器，每个静电排除器设有与主管体内部连通的出气口，每个静电排除器内设有与高压电源控制调节电路板电连接的放电装置。本实用新型结构新颖、设计巧妙，通过高压电源控制调节电路板，连接到放电装置上，使放电装置产生的大量带有正负电荷的气流，经过进气调节装置调节好压力的压缩空气高速从出气口吹出，从而将硅片上所带的电荷中和掉，从而消除静电，实现良好的分片。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 太阳能 扩散 设备 分片 装置 | ||
【主权项】：
应用于太阳能扩散设备的分片装置，其特征在于：包括内空且两端封闭的主管体，该主管体的左端面设有与空压机连通的进气调节装置，该主管体的前端面设有高压电源控制调节电路板，该主管体的后端面均布有多个安装板，所述主管体的底面设有多个从左至右间隔布置的静电排除器，每个静电排除器设有与主管体内部连通的出气口，每个静电排除器内设有与高压电源控制调节电路板电连接的放电装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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