[实用新型]一种反射式衍射光栅周期测量装置

摘要

本实用新型涉及一种反射式衍射光栅周期测量装置，包括底板、设置于所述底板上的主支架、测量屏、一维位移平台、光栅台8、光源发生装置以及光源调整架；测量屏固定连接于所述一维位移平台上，所述测量屏上设置有光栅周期刻度线；一维位移平台设置于底板上并调节所述测量屏的光栅周期测量数值；光栅台8上放置有衍射光栅，所述光栅台8与主支架旋转连接；所述光源调整架设置于所述光栅台8的上方、且与所述主支架连接；所述光源发生装置设置于所述光源调整架上。本实用新型的测量方法简单，测量速度快、操作简单，测量周期广，并且测量精度高。

主权项

一种反射式衍射光栅周期测量装置，包括底板和设置于所述底板上的主支架，其特征在于：还包括测量屏、一维位移平台、光栅台、光源发生装置以及光源调整架；所述测量屏固定连接于所述一维位移平台上，所述测量屏上设置有光栅周期刻度线；所述一维位移平台设置于底板上并调节所述测量屏的光栅周期测量数值；所述光栅台上放置有衍射光栅，所述光栅台与主支架旋转连接；所述光源调整架设置于所述光栅台的上方且与所述主支架连接；所述光源发生装置设置于所述光源调整架上。