[实用新型]一种多晶硅硅烷分解炉导热油控温节能系统

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅硅烷分解炉导热油控温节能系统，其包括导热油循环槽、换热器、闪蒸槽、硅烷分解炉、主导热油泵和冷却水泵，导热油循环槽的常温油进口与进油管的出口连通，导热油循环槽的换热出口、主导热油泵和换热器的管程入口通过第一换热管连通，换热器的管程出口与硅芯夹套的冷却油进口连通，硅芯夹套的冷却回油出口与导热油循环槽的冷却回油进口连通，闪蒸槽的换热出水口、冷却水泵和换热器的壳程进口通过第二换热管连通，换热器的壳程出口与闪蒸槽的换热进水口连通，本实用新型通过对导热油循环换热，实现对硅烷分解炉温度的控制，保证硅烷分解炉分解硅烷的精确度和可控性。

主权项

一种多晶硅硅烷分解炉导热油控温节能系统，其特征在于，其包括导热油循环槽、换热器、闪蒸槽、硅烷分解炉、主导热油泵和冷却水泵，所述硅烷分解炉内设置有硅芯夹套，所述导热油循环槽的常温油进口与进油管的出口连通，所述导热油循环槽的换热出口与所述换热器的管程入口通过第一换热管连通，所述第一换热管上设置有所述主导热油泵，所述换热器的管程出口与所述硅芯夹套的冷却油进口通过冷却导热油管连通，所述硅芯夹套的冷却回油出口与所述导热油循环槽的冷却回油进口通过冷却回油管连通，所述闪蒸槽的换热出水口与所述换热器的壳程进口通过第二换热管连通，所述第二换热管上设置有所述冷却水泵，所述换热器的壳程出口与所述闪蒸槽的换热进水口通过换热回水管连通，所述闪蒸槽的蒸汽进口与蒸汽进管的蒸汽出口连通，所述闪蒸槽的蒸汽冷凝液出口与冷凝管的蒸汽进口连通，所述闪蒸槽的进水口与进水管的出水口连通，所述闪蒸槽的出气口与蒸汽出管的进口连通。