[实用新型]一种离子注入机的石墨电极棒有效
| 申请号： | 201621092556.9 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN206040591U | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 徐轲;胡江平 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子注入机的石墨电极棒，用以解决现有离子注入机的石墨电极棒易发生弯曲变形而导致离子注入机产生的离子束不均匀的问题。包括外层石墨电极棒以及内层支撑棒；其中所述外层石墨电极棒中沿长度方向上设有中空通道；所述内层支撑棒设置在所述外层石墨电极棒的中空通道内；所述内层支撑棒的硬度大于所述外层石墨电极棒的硬度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 石墨电极 | ||
【主权项】：
一种离子注入机的石墨电极棒，其特征在于，包括：外层石墨电极棒以及内层支撑棒；其中：所述外层石墨电极棒中沿长度方向上设有中空通道；所述内层支撑棒设置在所述外层石墨电极棒的中空通道内；所述内层支撑棒的硬度大于所述外层石墨电极棒的硬度。
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