[实用新型]一种离子注入机的石墨电极棒有效
| 申请号： | 201621092556.9 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN206040591U | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 徐轲;胡江平 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 石墨电极 | ||
【说明书】：
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