[实用新型]一种用于硅片散热的散热装置

摘要

本实用新型提供了一种用于硅片散热的散热装置，散热装置包括相对的两端向外开口的风道，风道中设置有用于放置石英舟的载物台，石英舟用于放置硅片，台面上开设有多个均匀布置的通风孔，风道的相对的两端分别设置有送风系统和排气系统，送风系统和排气系统相配合，在风道中形成穿过通风孔和硅片的表面的散热气流，散热气流的流动方向平行于硅片的表面。送风系统和排气系统同时工作，利于在风道的两个开口形成较大的气压差，利于散热气流流动，散热气流沿风道流动时，直接与硅片的表面接触，节省硅片的冷却时间。散热气流不会对硅片的表面产生垂直的压力，避免气流冲击硅片的表面造成损坏，或导致硅片与石英舟的卡位处遭到破坏。

主权项

一种用于硅片散热的散热装置，其特征在于，包括相对的两端向外开口的风道(1)，所述风道(1)中设置有用于放置石英舟的载物台，所述石英舟用于放置硅片，所述载物台的台面(2)上开设有多个均匀布置的通风孔(21)，所述风道(1)的相对的两端之中，一个设置有向所述风道(1)送风的送风系统，另一个设置有将所述风道(1)中的气体抽出的排气系统，所述送风系统和所述排气系统相配合，在所述风道(1)中形成穿过通风孔(21)和硅片的表面的散热气流，所述散热气流的流动方向平行于所述硅片的表面。