[实用新型]一种制备氧化锌薄膜的超声喷雾热解装置

摘要

本实用新型涉及一种制备氧化锌薄膜的装置，特别涉及一种制备氧化锌薄膜的超声喷雾热解装置。包括气瓶A、气瓶B、气体流量计、混气室、开关、导管A、U型气液分离器等，所述的气瓶A和气瓶B通过气体流量计连接到混气室，导管A连接混气室和U型气液分离器，开关设置在导管A上，U型气液分离器安装在超声雾化器上，导管B连接U型气液分离器和生长室，热电炉安装在生长室底部，衬底安装在热电炉上部，热电偶设置在生长室内，并通过导线连接智能控温仪。本设计克服了传统制备装置制备的氧化锌杂质和缺陷密度高的弊端，不需要真空设备,工艺简单、成本低廉。