[实用新型]用于离子植入机中的静电透镜的端电极有效
申请号: | 201621045811.4 | 申请日: | 2016-09-09 |
公开(公告)号: | CN206098339U | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | W·戴维斯·李 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备公司 |
主分类号: | H01J37/12 | 分类号: | H01J37/12;H01J37/317 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人: | 杨贝贝,臧建明 |
地址: | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本实用新型提供一种用于离子植入机中的静电透镜的端电极。端电极具有第一和第二表面及端电极开口以用于接收穿过其中沿着z轴行进的离子束,第一和第二表面在y‑z平面中是弯曲的,端电极开口具有顶端、底端和中心部分,端电极开口在顶端和底端处的宽度大于端电极开口在中心部分处的宽度,端电极开口在顶端处的宽度等于端电极开口在底端处的宽度;端电极开口具有沿着y轴测量的开口高度;端电极的第一表面具有第一曲率半径,端电极的第二表面具有第二曲率半径,第一和第二曲率半径是从沿着正z轴的点测量的;第一曲率半径大于第二曲率半径。静电透镜通过调节端电极可以获得多种不同射束形状。 | ||
搜索关键词: | 用于 离子 植入 中的 静电透镜 电极 | ||
【主权项】:
一种用于离子植入机中的静电透镜的端电极,其特征在于,包括:端电极,具有第一表面和第二表面以及在其中的端电极开口以用于接收穿过其中沿着z轴行进的离子束,所述第一表面和所述第二表面在y‑z平面中是弯曲的,其中y轴在垂直方向上取向,其中所述端电极开口具有顶端、底端和中心部分,并且所述端电极开口在所述顶端和所述底端处的宽度大于所述端电极开口在所述中心部分处的宽度,并且所述端电极开口在所述顶端处的所述宽度等于在所述底端处的所述端电极开口的所述宽度;其中所述端电极开口具有沿着所述y轴测量的开口高度;其中所述端电极的所述第一表面具有第一曲率半径,并且所述端电极的所述第二表面具有第二曲率半径,并且其中所述第一曲率半径和所述第二曲率半径是从沿着正z轴的点测量的,其中所述正z轴是从所述端电极的中心在所述离子束行进的方向上测量的;并且其中所述第一曲率半径大于所述第二曲率半径。
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