[实用新型]一种石墨舟装置有效
申请号: | 201620996743.3 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN205959966U | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 陈建平 | 申请(专利权)人: | 浙江德西瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙)33265 | 代理人: | 蔡鼎 |
地址: | 314415 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种石墨舟装置,属于机械设备技术领域。它解决了现有石墨舟不能调整位置等技术问题。本石墨舟装置包括底座,底座上设有旋转气缸,旋转气缸的输出轴上连接有水平的石墨板且旋转气缸能够带动石墨板转动,石墨板上平行间隔设有若干的石墨片,石墨板和石墨片呈长条状且所有石墨片均垂直于石墨板的上表面;所有石墨片之间穿设有若干的陶瓷棒。本实用新型中将石墨板设置在旋转气缸上,通过控制旋转气缸的转动使得石墨板以及石墨板上的石墨片能够转动,从而调整位置,方便使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 装置 | ||
【主权项】:
一种石墨舟装置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上设有旋转气缸(2),所述旋转气缸(2)的输出轴上连接有水平的石墨板(3)且所述旋转气缸(2)能够带动所述石墨板(3)转动,所述石墨板(3)上平行间隔设有若干的石墨片(4),所述石墨板(3)和石墨片(4)呈长条状且所有所述石墨片(4)均垂直于所述石墨板(3)的上表面;所有所述石墨片(4)之间穿设有若干的陶瓷棒(5)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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