[实用新型]一种PPS高效蚀刻机有效
申请号: | 201620945951.0 | 申请日: | 2016-08-26 |
公开(公告)号: | CN205984896U | 公开(公告)日: | 2017-02-22 |
发明(设计)人: | 汪富 | 申请(专利权)人: | 南亚电路板(昆山)有限公司 |
主分类号: | H01L21/306 | 分类号: | H01L21/306;C23F1/08;C03C15/00 |
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地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种PPS高效蚀刻机,包括底座,所述底座的顶部对称连接有第一支撑柱和第二支撑柱,所述底座的顶部且位于第一支撑柱和第二支撑柱之间设有支撑块,所述支撑块的顶部固定连接有工作台,所述第一支撑柱和第二支撑柱的顶端固定连接有支撑板,所述支撑板的顶部安装有控制器,所述第一支撑柱和第二支撑柱相对的一侧均镶嵌有伸缩装置。该PPS高效蚀刻机,伸缩装置的使用,可以让喷药喷嘴或喷水喷头进行移动,能够更方便的对物体进行喷药蚀刻和喷水清洗,不必再设置大量的喷嘴来对物体进行喷射化学药液蚀刻,不仅节省了大量的化学药液,还可以及时的对物体进行喷水清理,保证了物体蚀刻的均匀型。 | ||
搜索关键词: | 一种 pps 高效 蚀刻 | ||
【主权项】:
一种PPS高效蚀刻机,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部对称连接有第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3),所述底座(1)的顶部且位于第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3)之间设有支撑块(4),所述支撑块(4)的顶部固定连接有工作台(5),所述第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3)的顶端固定连接有支撑板(6),所述支撑板(6)的顶部安装有控制器(7),所述第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3)相对的一侧均镶嵌有伸缩装置(8),所述伸缩装置(8)远离第一支撑柱(2)的一端固定连接有喷水喷头(9),所述伸缩装置(8)远离第二支撑柱(3)的一端固定连接有喷药喷嘴(10),所述底座(1)的内壁底部从左到右依次设有水箱(11)、收集箱(12)和储药箱(13),所述水箱(11)的顶部安装有水泵(14),所述水泵(14)的输入端与水箱(11)的顶部通过输水管连通,所述水泵(14)的输出端连通有送水管(15),且送水管(15)远离水泵(14)的一端贯穿底座(1)并延伸至其外部,所述喷水喷头(9)的顶部连通有进水管(16),且进水管(16)远离喷水喷头(9)的一端贯穿第一支撑柱(2)并与送水管(15)连通,所述储药箱(13)的顶部安装有液压泵(17),所述液压泵(17)的输入端通过输药管与储药箱(13)的顶部连通,所述液压泵(17)的输出端连通有送药管(18),且送药管(18)远离液压泵(17)的一端贯穿底座(1)并延伸至其外部,所述喷药喷嘴(10)的顶部连通有进药管(19),且进药管(19)远离喷药喷嘴(10)的一端贯穿第二支撑柱(3)并与送药管(19)连通,所述控制器(7)分别与水泵(14)和液压泵(17)电性连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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