[实用新型]一种PPS高效蚀刻机有效

专利信息
申请号: 201620945951.0 申请日: 2016-08-26
公开(公告)号: CN205984896U 公开(公告)日: 2017-02-22
发明(设计)人: 汪富 申请(专利权)人: 南亚电路板(昆山)有限公司
主分类号: H01L21/306 分类号: H01L21/306;C23F1/08;C03C15/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种PPS高效蚀刻机,包括底座,所述底座的顶部对称连接有第一支撑柱和第二支撑柱,所述底座的顶部且位于第一支撑柱和第二支撑柱之间设有支撑块,所述支撑块的顶部固定连接有工作台,所述第一支撑柱和第二支撑柱的顶端固定连接有支撑板,所述支撑板的顶部安装有控制器,所述第一支撑柱和第二支撑柱相对的一侧均镶嵌有伸缩装置。该PPS高效蚀刻机,伸缩装置的使用,可以让喷药喷嘴或喷水喷头进行移动,能够更方便的对物体进行喷药蚀刻和喷水清洗,不必再设置大量的喷嘴来对物体进行喷射化学药液蚀刻,不仅节省了大量的化学药液,还可以及时的对物体进行喷水清理,保证了物体蚀刻的均匀型。
搜索关键词: 一种 pps 高效 蚀刻
【主权项】:
一种PPS高效蚀刻机,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部对称连接有第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3),所述底座(1)的顶部且位于第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3)之间设有支撑块(4),所述支撑块(4)的顶部固定连接有工作台(5),所述第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3)的顶端固定连接有支撑板(6),所述支撑板(6)的顶部安装有控制器(7),所述第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3)相对的一侧均镶嵌有伸缩装置(8),所述伸缩装置(8)远离第一支撑柱(2)的一端固定连接有喷水喷头(9),所述伸缩装置(8)远离第二支撑柱(3)的一端固定连接有喷药喷嘴(10),所述底座(1)的内壁底部从左到右依次设有水箱(11)、收集箱(12)和储药箱(13),所述水箱(11)的顶部安装有水泵(14),所述水泵(14)的输入端与水箱(11)的顶部通过输水管连通,所述水泵(14)的输出端连通有送水管(15),且送水管(15)远离水泵(14)的一端贯穿底座(1)并延伸至其外部,所述喷水喷头(9)的顶部连通有进水管(16),且进水管(16)远离喷水喷头(9)的一端贯穿第一支撑柱(2)并与送水管(15)连通,所述储药箱(13)的顶部安装有液压泵(17),所述液压泵(17)的输入端通过输药管与储药箱(13)的顶部连通,所述液压泵(17)的输出端连通有送药管(18),且送药管(18)远离液压泵(17)的一端贯穿底座(1)并延伸至其外部,所述喷药喷嘴(10)的顶部连通有进药管(19),且进药管(19)远离喷药喷嘴(10)的一端贯穿第二支撑柱(3)并与送药管(19)连通,所述控制器(7)分别与水泵(14)和液压泵(17)电性连接。
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