[实用新型]一种石英舟有效
| 申请号： | 201620902472.0 | 申请日： | 2016-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN205944052U | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 盛文彬;唐忠民 | 申请（专利权）人： | 湖州奥博石英科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙)33232 | 代理人： | 赵卫康 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及石英制品技术领域，具体为一种石英舟，包括一对支座和支杆，所述支杆上设有卡槽，所述支杆包括第一支杆、第二支杆、第三支杆和第四支杆，所述第一支杆设置在所述支座的上部，所述第三支杆设置在所述支座的下部，所述第四支杆设置在所述第三支杆的侧上方；所述第一支杆和第三支杆的连线，与所述第三支杆和所述第四支杆的连线形成90°的夹角；所述第二支杆设置在所述第一支杆与所述第三支杆的连线之间，且所述第二支杆相对所述支座移动。本实用新型改变可硅片的固定方式，只需卡住硅片相邻的两条边即可进行固定，该固定方式简单、效果好，而且设置了可移动的第二支杆，能够满足不同规格的硅片的放置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
【主权项】：
一种石英舟，包括一对支座（1）、连接在两个支座（1）之间的支杆，所述支杆上设有卡槽，其特征在于：所述支杆包括第一支杆（2）、第二支杆（3）、第三支杆（4）和第四支杆（5），所述第一支杆（2）设置在所述支座（1）的上部，所述第三支杆（4）设置在所述支座（1）的下部，所述第四支杆（5）设置在所述第三支杆（4）的侧上方；所述第一支杆（2）和第三支杆（4）的连线，与所述第三支杆（4）和所述第四支杆（5）的连线形成90°的夹角；所述第二支杆（3）设置在所述第一支杆（2）与所述第三支杆（4）的连线之间，且所述第二支杆（3）相对所述支座（1）沿所述第一支杆（2）与所述第三支杆（4）的连线进行移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖州奥博石英科技有限公司，未经湖州奥博石英科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620902472.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种晶舟和具有该晶舟的炉管装置
- 下一篇：一种晶圆盒
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
