[实用新型]用层堆叠涂布柔性基板的沉积设备有效
| 申请号： | 201620800779.X | 申请日： | 2016-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN206204411U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | T·德皮施;S·海因;N·莫里森;R·库克拉;C·克森;S·施拉弗;S·劳伦斯;D·瓦格纳;V·迈特;V·哈克;U·赫尔曼斯;B·斯狄克赛尔-维斯;W·温丹姆斯;J·乌尔里奇 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;C23C14/58 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述一种用层堆叠涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)。所述沉积设备包含第一卷筒腔室(110)，配置用于容纳存储卷筒，所述存储卷筒用于提供柔性基板；第一沉积腔室(120)，布置在第一卷筒腔室下游且包含第一涂布滚筒(122)，所述第一涂布滚筒被配置用于引导柔性基板经过第一组多个沉积单元(121)；第二沉积腔室(140)，布置在第一沉积腔室(120)下游且包含第二涂布滚筒(142)，所述第二涂布滚筒被配置用于引导柔性基板经过第二组多个沉积单元(141)；第二卷筒腔室，布置在第二沉积腔室(140)下游且被配置用于容纳缠绕卷筒，所述缠绕卷筒用于在沉积后在此缠绕卷筒上缠绕柔性基板；以及辊组件，配置成将柔性基板(10)沿部分凸形和部分凹形的基板传送路径从第一卷筒腔室传送到第二卷筒腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 堆叠 柔性 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种用层堆叠涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)，包含：第一卷筒腔室(110)，被配置用于容纳存储卷筒(112)，所述存储卷筒(112)用于提供所述柔性基板(10)；第一沉积腔室(120)，布置在所述第一卷筒腔室(110)下游且包含第一涂布滚筒(122)，所述第一涂布滚筒(122)被配置用于引导所述柔性基板经过第一组多个沉积单元(121)；第二沉积腔室(140)，布置在所述第一沉积腔室(120)下游且包含第二涂布滚筒(142)，所述第二涂布滚筒(142)被配置用于引导所述柔性基板经过第二组多个沉积单元(141)；第二卷筒腔室(150)，布置在所述第二沉积腔室(140)下游且被配置用于容纳缠绕卷筒(152)，所述缠绕卷筒(152)用于在沉积后在所述缠绕卷筒(152)上缠绕所述柔性基板(10)；以及辊组件，被配置成将所述柔性基板沿部分凸形和部分凹形的基板传送路径从所述第一卷筒腔室传送到所述第二卷筒腔室。
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