[实用新型]一种用于PECVD上下料单晶硅片的定位装置

摘要

本实用新型公开了一种用于PECVD上下料单晶硅片的定位装置，包括基座、以及设于基座上的至少1个定位块组；所述定位块组包括4个定位块，各个定位块上设有至少2个定位块安装孔；4个定位块呈2×2的矩阵分布，4个定位块的内侧各设有承载口，4个承载口围起来构成一个与单晶硅片外形配合的承载槽；所述各个承载口包括槽底和槽壁，所述槽壁从下到上包括第一槽面和与第一槽面相连的第二槽面，所述第二槽面与定位块的表面的夹角为110°~130°。本实用新型使得在单晶硅片生产时可以准确固定，从而解决了现有技术中片源无法准确固定的问题。

主权项

一种用于PECVD上下料单晶硅片的定位装置，其特征在于：包括基座、以及设于基座上的至少1个定位块组；所述定位块组包括4个定位块，分别为第一定位块（1）、第二定位块（2）、第三定位块（3）和第四定位块（4），各个定位块上设有至少2个定位块安装孔（5）；4个定位块呈2×2的矩阵分布，4个定位块的内侧各设有承载口，4个承载口围起来构成一个与单晶硅片外形配合的承载槽；所述各个承载口包括槽底（6）和槽壁，所述槽壁从下到上包括第一槽面（7）和与第一槽面相连的第二槽面（8），所述第二槽面（8）与定位块的表面的夹角为110°~130°。