[实用新型]喷淋显影喷嘴和具有该喷嘴的喷淋显影仪有效
| 申请号： | 201620732927.9 | 申请日： | 2016-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN205787595U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 向容;梁永 | 申请（专利权）人： | 潍坊星泰克微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 翁斌 |
| 地址： | 261205 山东省潍坊市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻胶显影技术领域，尤其涉及喷淋显影喷嘴和具有该喷嘴的喷淋显影仪，喷淋显影喷嘴包括喷嘴接口、喷嘴主体和喷口，喷嘴接口与喷嘴主体相连接，喷口设置在喷嘴主体的底部，喷嘴主体的底部设置为弧形。喷淋显影仪包括喷嘴接口、喷嘴主体、喷口、显影液流动连接管、旋转卡盘、旋转发动机和显影液接口。本实用新型的喷淋显影喷嘴和具有该喷嘴喷淋显影仪结构简单，操作方便，保证了显影过程中光刻胶溶解反应的均匀性，大大的提高了研发效率，降低了实验成本。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋 显影 喷嘴 具有 | ||
【主权项】：
喷淋显影喷嘴，其特征在于：所述喷淋显影喷嘴包括喷嘴接口(1)、喷嘴主体(2)和喷口(3)，所述的喷嘴接口(1)与喷嘴主体(2)相连接，所述的喷口(3)设置在喷嘴主体(2)的底部，喷嘴主体(2)的底部设置为弧形。
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