[实用新型]喷淋显影喷嘴和具有该喷嘴的喷淋显影仪有效
申请号: | 201620732927.9 | 申请日: | 2016-07-12 |
公开(公告)号: | CN205787595U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 向容;梁永 | 申请(专利权)人: | 潍坊星泰克微电子材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人: | 翁斌 |
地址: | 261205 山东省潍坊市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷淋 显影 喷嘴 具有 | ||
【权利要求书】:
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