[实用新型]一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统有效
| 申请号： | 201620716272.6 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN205845895U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 王瑞华;薛道荣 | 申请（专利权）人： | 北京奥普科星技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/04;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙)11210 | 代理人： | 苏泳生 |
| 地址： | 102308 北京市门头沟*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统，包括依次设置的阴极室、铟封室和阳极室，所述阴极室和铟封室之间以及铟封室和阳极室之间均通过传递腔相互连通，所述传递腔的中部设置有与该传递腔对应的挡板阀；所述阴极室、铟封室和阳极室各通过管路分别连接有机械泵、分子泵、离子泵。本实用新型的有益效果为：可使获得的工作真空度可以达到10‑6 Pa数量级；可对MCP进行高温烘烤以及电子冲刷去气；可满足多种工艺需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 性能 条纹 相机 增强 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统，包括依次设置的阴极室(4)、铟封室(5)和阳极室(6)，其特征在于，所述阴极室(4)和铟封室(5)之间以及铟封室(5)和阳极室(6)之间均通过传递腔(7)相互连通，所述传递腔(7)的中部设置有与该传递腔(7)对应的挡板阀(8)；所述阴极室(4)、铟封室(5)和阳极室(6)各通过管路分别连接有机械泵(1)、分子泵(2)、离子泵(3)。
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