[实用新型]蚀刻设备及其显影装置有效
| 申请号： | 201620693598.1 | 申请日： | 2016-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN205881880U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)44314 | 代理人： | 张约宗,高瑞 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蚀刻设备及其显影装置，该显影装置包括架体、传送装置、以及至少一个与所述传送装置相对设置在所述架体上的喷淋装置，所述喷淋装置包括至少一个喷淋单元，所述喷淋单元包括至少一个纵长的出水部，所述出水部长度方向与该传送装置的传送方向成锐角或者钝角。本实用新型通过传送装置传送基板，利用喷淋装置向基板喷淋液体，通过改变喷淋装置上的喷淋单元的出水部方向，使其与传送装置的传送方向成锐角或者钝角，从而解决了现有技术中因为“水池效应”引起的腐蚀液需要蚀刻的地方蚀刻不足或者蚀刻过度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 设备 及其 显影 装置 | ||
【主权项】：
一种蚀刻设备用显影装置，包括架体、传送装置、以及至少一个与所述传送装置相对设置在所述架体上的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置包括至少一个喷淋单元，所述喷淋单元包括至少一个纵长的出水部，所述出水部长度方向与该传送装置的传送方向成锐角或者钝角。
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