[实用新型]一种自动插取石英舟

摘要

本实用新型涉及一种自动插取石英舟，包括相对设置的侧板、设置在侧板之间的上槽棒和下槽棒，侧板顶部设有中心管，侧板中心设有减重孔，一个侧板上的减重孔下边缘设有气压标记端，侧板之间还连接有支撑棒，上槽棒以及支撑棒截面均为正方形，上槽棒截面的一条对角线以及支撑棒的一条对角线均为水平状，上槽棒内侧的棱边上设有上槽口，下槽棒顶面设有下槽口。本实用新型将上槽棒和支撑棒均设置为正四棱柱且截面的对角线连线水平状，有效提高石英舟的整体强度，同时便于硅片的插取不易撞伤硅片，上槽口以及下槽口的倾斜角度a为3°，便于硅片向一侧倾斜，提高硅片边缘质量。

主权项

一种自动插取石英舟，包括相对设置的侧板、设置在所述侧板之间的上槽棒和下槽棒，其特征在于，所述侧板顶部设有中心管，所述侧板中心设有减重孔，一个所述侧板上的减重孔下边缘设有气压标记端，所述侧板之间还连接有支撑棒，所述上槽棒以及所述支撑棒截面均为正方形，所述上槽棒截面的一条对角线以及所述支撑棒的一条对角线均为水平状，所述上槽棒内侧的棱边上设有上槽口，所述下槽棒顶面设有下槽口，所述上槽口以及所述下槽口的倾斜角度a为3°。