[实用新型]一种肖特基二极管

摘要

本实用新型公开了一种肖特基二极管，包括背面金属电极、衬底、外延层、氧化层、正面金属电极、势垒金属层及保护环，其中，背面金属电极、衬底及外延层三者由下至上顺次层叠设置，外延层上端面中央部位向下凹陷形成中心槽，保护环水平设置于处延层内且环绕中心槽设置，保护环上端面与外延层上端面平齐。氧化层覆盖于保护环上端面靠近保护环外侧的区域、以及外延层上端面位于保护环外侧的区域，势垒金属层覆盖于外延层和保护环两者上端面相对覆盖氧化层区域外的区域，正面金属电极覆盖于氧化层和势垒金属层两者的上端面。本实用新型整体结构简单，便于实现，成本低，且具有良好的防静电性能，进而便于推广应用。

主权项

一种肖特基二极管，其特征在于，包括背面金属电极（1）、衬底（2）、外延层（3）、氧化层（4）、正面金属电极（5）、势垒金属层（6）及保护环（7），所述背面金属电极（1）、衬底（2）及外延层（3）三者由下至上顺次层叠设置，所述外延层（3）上端面中央部位向下凹陷形成开口向上的中心槽，所述保护环（7）水平设置于处延层（3）内且环绕中心槽设置，保护环（7）上端面与外延层（3）上端面平齐，且其底部的水平高度低于中心槽底部的水平高度；所述氧化层（4）覆盖于保护环（7）上端面靠近保护环（7）外侧的区域、以及外延层（3）上端面位于保护环（7）外侧的区域，所述势垒金属层（6）覆盖于外延层（3）和保护环（7）两者上端面相对覆盖氧化层（4）区域外的区域，所述正面金属电极（5）覆盖于氧化层（4）和势垒金属层（6）两者的上端面。