[实用新型]轻型硅板舟

摘要

轻型硅板舟。提供了一种结构简单，提高强度和可靠性的轻型硅板舟。包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，四只插棒为一组构成限位单元，所述限位单元是所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体的插孔内，处于对角的两插棒内侧之间的距离等于硅片的直径；所述板状舟体上设有开孔机构，所述开孔机构位于限位单元内。本实用新型在确保板状舟体自身材质及机械强度的前提下，降低板状舟体的实际质量，为提高设备产能提供实际可行性，并提高高温炉管的使用寿命。本实用新型在限位单元内设置开孔机构，可通过设置通孔、穿孔或细孔，保证了板状舟体的强度，提高了生产效率和使用寿命。

主权项

轻型硅板舟，包括设有插孔的板状舟体和用于固定硅片的插棒，四只插棒为一组构成限位单元，所述限位单元是：所述插棒按正方形四角位置固定连接在所述板状舟体的插孔内，处于对角的两插棒内侧之间的距离等于硅片的直径；其特征在于，所述板状舟体上设有开孔机构，所述开孔机构位于限位单元内；所述开孔机构为若干平行设置的穿孔，所述穿孔的轴线垂直于插棒的中心线。