[实用新型]一种多晶硅片的脱胶喷淋装置

摘要

本实用新型具体公开一种多晶硅片的脱胶喷淋装置，包括脱胶槽、往复气缸及第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋管，第一喷淋管和第二喷淋管的同侧端分别水平穿出脱胶槽并分别在其穿出部分上套接有齿轮；往复气缸水平设置在脱胶槽外，往复气缸的活塞杆固接有水平设置的齿条，齿条与两个齿轮啮合连接；第三喷淋管与第一喷淋管之间连接第一直角双向旋转接头，第三喷淋管与第二喷淋管之间连接有第二直角双向旋转接头，且第一直角双向旋转接头的两个旋转轴上设有相互啮合的伞齿轮组。本实用新型第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋管由同一往复气缸驱动而同步往复旋转，实现向硅片多角度上下摆动冲淋，冲淋后不会产生砂浆或胶的残留，提高工作效率。

主权项

一种多晶硅片的脱胶喷淋装置，其特征在于，包括脱胶槽、往复气缸以及相互平行且水平设置在脱胶槽的内壁顶端同一高度处的第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋管，所述第一喷淋管和第二喷淋管的同侧端分别水平穿出脱胶槽并分别在其穿出部分上套接有齿轮；所述往复气缸水平设置在脱胶槽外，所述往复气缸的活塞杆固接有水平设置的齿条，所述齿条与两个齿轮啮合连接；所述第三喷淋管与第一喷淋管之间连接第一直角双向旋转接头，所述第三喷淋管与第二喷淋管之间连接有第二直角双向旋转接头，且所述第一直角双向旋转接头的两个旋转轴上设有相互啮合的伞齿轮组。