[实用新型]用于将工艺气体供应到蒸发器源中的气体注入器单元

摘要

描述了一种配置成用于将工艺气体供应到蒸发器源中的气体注入器单元。所述蒸发器源包括间隔开的坩埚以用于处理基板，其中在所述坩埚之间设有间距。所述气体注入器单元包括气体注入器外壳，所述气体注入器外壳包括温度调整单元；气体引导管，所述气体引导管具有一个或多个气体入口端口以用于供应工艺气体，其中所述气体引导管被提供在所述气体注入器外壳内。多个气体出口管道与所述气体引导管流体地连通以提供用于反应沉积工艺的工艺气体。

主权项

一种配置成用于将工艺气体供应到蒸发器源中的气体注入器单元，所述蒸发器源具有间隔开的坩埚以用于处理基板，其中在所述坩埚之间设有间距，所述气体注入器单元包括：气体注入器外壳，所述气体注入器外壳包括温度调整单元；气体引导管，所述气体引导管具有一个或多个气体入口端口以用于供应工艺气体，其中所述气体引导管被提供在所述气体注入器外壳内；以及多个气体出口管道，所述多个气体出口管道与所述气体引导管流体地连通以用于提供用于反应沉积工艺的工艺气体。