[实用新型]改善方阻均匀性的石英舟有效
| 申请号： | 201620599396.0 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN205680665U | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 徐义胜;黄浩;衡阳;郑旭然;刑国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种改善方阻均匀性的石英舟，该石英舟包括两个侧板，侧板上设置有套管，两个侧板之间通过槽棒连接，槽棒上沿其轴向对应于硅片间隔设置有槽齿；所述侧板、槽棒、套管及槽齿上均开设有通孔，其中：所述侧板、槽棒及套管上的通孔朝向石英舟内部设置，所述槽齿上通孔的两端开口分别朝向两侧相邻槽齿设置。本实用新型在石英舟实体材料部分增设通孔，增强了扩散炉管内反应气体的流动性，硅片方阻均匀性因而得到改善。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 均匀 石英 | ||
【主权项】：
一种改善方阻均匀性的石英舟，该石英舟包括两个侧板，侧板上设置有套管，两个侧板之间通过槽棒连接，槽棒上沿其轴向对应于硅片间隔设置有槽齿；其特征在于：所述侧板、槽棒、套管及槽齿上均开设有通孔，其中：所述侧板、槽棒及套管上的通孔朝向石英舟内部设置，所述槽齿上通孔的两端开口分别朝向两侧相邻槽齿设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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