[实用新型]一种板式PECVD机台石英管保护结构有效
| 申请号： | 201620554889.2 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN205959957U | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 袁中存;党继东;俞亚东;张标 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种板式PECVD机台石英管保护结构，包括石英管和法兰，所述石英管外设置有高温胶带，石英管的两端通过法兰设于所述板式PECVD机台上；所述法兰侧壁的一端沿其径向朝内凸设有一圈限位边；所述石英管上设有保护套，该保护套的主体为一空心柱状构件，该空心柱状构件的空心腔对应于所述石英管设置，空心柱状构件的一端沿其径向向外凸设有一圈卡边；所述保护套的卡边的外缘尺寸大于所述限位边的内缘尺寸。本实用新型有效避免了石英管两端的高温胶带及密封圈烧焦。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 板式 pecvd 机台 石英管 保护 结构 | ||
【主权项】：
一种板式PECVD机台石英管保护结构，包括石英管和法兰，所述石英管外设置有高温胶带，石英管的两端通过法兰设于所述板式PECVD机台上；其特征在于：所述法兰侧壁的一端沿其径向朝内凸设有一圈限位边；所述石英管上设有保护套，该保护套的主体为一空心柱状构件，该空心柱状构件的空心腔对应于所述石英管设置，空心柱状构件的一端沿其径向向外凸设有一圈卡边；所述保护套的卡边的外缘尺寸大于所述限位边的内缘尺寸。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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