[实用新型]一种用于监控蚀刻液比重变化的传感器有效
申请号: | 201620503868.8 | 申请日: | 2016-05-27 |
公开(公告)号: | CN205826455U | 公开(公告)日: | 2016-12-21 |
发明(设计)人: | 刘忠华;刘行飞 | 申请(专利权)人: | 深圳市欣捷宇科技有限公司 |
主分类号: | G01N9/18 | 分类号: | G01N9/18 |
代理公司: | 广东深宏盾律师事务所44364 | 代理人: | 赵琼花 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于监控蚀刻液比重变化的传感器,包括壳体、安装在壳体内的监测装置和浮球;监测装置包括两组弹簧、用于安装弹簧的支架和用于固定弹簧的弹簧限位固定架;每组弹簧呈竖直方向排列,通过光源连接板连接;支架底部设有用于感应弹簧变形并产生位置信号的信号发生部件,该信号发生部件连接外部控制设备;光源连接板外连接浮球,随着蚀刻液的比重变化,浮球受到的浮力发生变化,使弹簧发生变形,信号发生部件感应弹簧的变形,产生位置信号。本实用新型通过弹簧产生位能变化来监测蚀刻液的比重变化,进而控制蚀刻液的比重,具有稳定性好,控制进度高等优点;弹簧形变线性更好,长时间使用零点不漂移,不需要二次校正。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 监控 蚀刻 比重 变化 传感器 | ||
【主权项】:
一种用于监控蚀刻液比重变化的传感器,其特征在于:包括壳体(1)、安装在壳体(1)内的监测装置以及悬浮在蚀刻液中的浮球;所述监测装置包括至少两组弹簧(21)、用于安装弹簧(21)的支架(22)和弹簧限位固定架(23);每组弹簧(21)呈竖直方向排列,弹簧组与弹簧组之间通过光源连接板(24)连接;所述支架(22)底部设有用于感应弹簧(21)变形并产生位置信号的信号发生部件(25),该信号发生部件(25)连接外部控制设备;所述光源连接板(24)上设有浮绳,浮绳连接悬浮在蚀刻液中的浮球,随着蚀刻液的比重变化,浮球受到的浮力发生变化,使弹簧(21)发生变形,信号发生部件(25)感应弹簧(21)的变形,产生位置信号。
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