[实用新型]一种用于监控蚀刻液比重变化的传感器有效

专利信息
申请号: 201620503868.8 申请日: 2016-05-27
公开(公告)号: CN205826455U 公开(公告)日: 2016-12-21
发明(设计)人: 刘忠华;刘行飞 申请(专利权)人: 深圳市欣捷宇科技有限公司
主分类号: G01N9/18 分类号: G01N9/18
代理公司: 广东深宏盾律师事务所44364 代理人: 赵琼花
地址: 518000 广东省深圳市坪*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 监控 蚀刻 比重 变化 传感器
【说明书】:
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