[实用新型]一种用于监控蚀刻液比重变化的传感器有效
申请号: | 201620503868.8 | 申请日: | 2016-05-27 |
公开(公告)号: | CN205826455U | 公开(公告)日: | 2016-12-21 |
发明(设计)人: | 刘忠华;刘行飞 | 申请(专利权)人: | 深圳市欣捷宇科技有限公司 |
主分类号: | G01N9/18 | 分类号: | G01N9/18 |
代理公司: | 广东深宏盾律师事务所44364 | 代理人: | 赵琼花 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 监控 蚀刻 比重 变化 传感器 | ||
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