[实用新型]一种晶体硅太阳能电池扩散炉有效
| 申请号： | 201620459678.0 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN205774933U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 石强;秦崇德;方结彬;黄玉平;何达能;陈刚 | 申请（专利权）人： | 广东爱康太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06;C30B31/14;C30B31/16 |
| 代理公司： | 佛山市中迪知识产权代理事务所(普通合伙)44283 | 代理人： | 张伶俐 |
| 地址： | 528100 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶体硅太阳能电池扩散炉，所述晶体硅太阳能电池扩散炉包括带有炉门的立式炉腔、加热器、第一立式石英舟、第二立式石英舟、由电机驱动旋转的支架；所述炉门设有进气管，立式炉腔设有排气管；所述第一立式石英舟、第二立式石英舟与支架固定连接；所述加热器固定在立式炉腔外侧。与现有技术相比，本实用新型采用立式结构和旋转支架，使得硅片和反应气体的接触更加充分，使得扩散反应更加均匀；采用并排两个立式石英舟的设计方式，在保证扩散均匀性的情况下，大大提高扩散的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 太阳能电池 扩散 | ||
【主权项】：
一种晶体硅太阳能电池扩散炉，其特征在于，所述晶体硅太阳能电池扩散炉包括带有炉门的立式炉腔、加热器、第一立式石英舟、第二立式石英舟、由电机驱动旋转的支架；所述炉门设有进气管，立式炉腔设有排气管；所述第一立式石英舟、第二立式石英舟与支架固定连接；所述加热器固定在立式炉腔外侧。
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- 本实用新型涉及一种石英管扩散炉炉门，它包括左右竖向布置的炉门盖（1）以及炉门背板（2），其特征在于炉门盖（1）的形状为圆盖形，炉门背板（2）的形状为原板形，炉门盖（1）以及炉门背板（2）的外缘齐平，炉门盖（1）与炉门背板（2）相对的一面表面设置有不规则的凹坑，所述炉门盖（1）和炉门背板（2）之间填充有石英保温棉（3），炉门背板（2）的中部设置有把手（4），把手（4）的一侧设置有填充口（5），石英保温棉（3）从该填充口填充入炉门盖（1）以及炉门背板（2）之间。该石英管扩散炉炉门在使用时只有炉门盖的外表面与石英管接触，不易与石英管产生摩擦，避免炉管破裂，保证安全。
- 一种用于多晶铸锭生产的二次掺杂装置-201420251182.5
- 张苏州 - 浙江溢闳光电科技有限公司
- 2014-05-15 - 2014-10-08 - C30B31/06
- 本实用新型涉及一种用于多晶铸锭生产的二次掺杂装置，包括多晶铸锭炉、坩埚和进气管，所述坩埚固定安装在多晶铸锭炉内，所述进气管的一端与坩埚上部相连接，进气管的另一端延伸到多晶铸锭炉的外部，所述进气管位于多晶铸锭炉外部的一端还依次连接有进气支管和三通容器，所述三通容器的三个接口分别为用于连接氩气供应装置的氩气进气口、用于与进气支管连接的进气接口和用于将掺杂剂加入三通容器的掺杂接口，所述氩气进气口处设有一号阀，所述进气接口处设有二号阀，所述掺杂接口处设有三号阀。本实用新型在使用时无需打开炉腔，进而保证不将空气混入炉腔内，可确保多晶硅的品质；且本装置掺杂过程无需停止设备运行，可提高生产效率。
- 一种双扩散炉管系统-201410060306.6
- 秦贵明;裴雷洪;俞玮 - 上海华力微电子有限公司
- 2014-02-21 - 2014-07-23 - C30B31/06
- 本发明公开了一种双扩散炉管系统，系统主要包括：前开口接口机械标准子系统、第一炉管和规格小于第一炉管的第二炉管；通过前开口接口机械标准子系统对若干个被预定的晶圆的批次数量进行判断；若批次数量大于2，则该若干个被预定的晶圆全部被运送至第一炉管中进行后续处理；若批次数量小于或等于2，则该若干个被预定的晶圆全部被运送至第二炉管中进行后续处理。本发明通过的一大一小两个独立的炉管设备系统的使用，当生产批量不超过两批的情况下，可以降低反应制成气体的消耗，降低了成本；还可减少模拟晶圆消耗，使模拟晶圆循环的周期变长，从而延长模拟晶圆的使用寿命；还能使工艺时间大幅度的缩短。
- 一种减压扩散炉反应管的密封装置-201410091791.3
- 刘良玉;曹骞;陈晖;苏卫中;杨晓生;童晖 - 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 2014-03-13 - 2014-06-18 - C30B31/06
- 本发明涉及一种减压扩散炉反应管的密封装置，反应管的开口端设有炉门，所述密封装置包括分别套装于反应管外部的炉门密封法兰和炉管密封法兰，所述炉门密封法兰与炉门接触的端面设有圆环形的内沟槽，并在内沟槽中安装炉门密封圈；炉门密封法兰与炉管密封法兰之间设有套装在反应管上的炉管密封圈；所述密封装置还设有对炉门密封法兰进行冷却的炉门密封法兰冷却机构、对炉管密封法兰进行冷却的炉管密封法兰冷却机构。通过炉门、炉门密封法兰及炉门密封圈、炉管密封法兰及其炉管密封圈相互组合，实现反应管的轴向和径向方向的多重密封，保证了密封性能的可靠性，防止密封圈过热损坏，提高了密封圈的使用寿命。
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