[实用新型]一种预加热式外延炉有效
| 申请号： | 201620405996.9 | 申请日： | 2016-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN205635850U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 钱卫宁;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B25/08;C30B29/36 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市翔安区翔星*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种预加热式外延炉，该外延炉的反应室内设置大盘及位于大盘中心上方的注入器，大盘上设置若干用于放置晶片的小盘基座，大盘底部设置有加热线圈，至少一进气管路与注入器相通并通过注入器向反应室内输入源气，其中进气管路上设置有预加热装置，该预加热装置包括串联于进气管路上的至少两个管体，各管体分别设置有加热元件，管体内形成加热腔以对通过的源气进行逐级加热，从而提高了注入器进入反应室的源气的温度，避免了径向的温度梯度，使大盘内温度均匀，节约了源气，同时提高了外延工艺的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 外延 | ||
【主权项】：
一种预加热式外延炉，该外延炉的反应室内设置大盘及位于大盘中心上方的注入器，大盘上设置若干用于放置晶片的小盘基座，大盘底部设置有加热线圈，至少一进气管路与注入器相通并通过注入器向反应室内输入源气，其特征在于：所述进气管路上设置有预加热装置，该预加热装置包括串联于进气管路上的至少两个管体，各管体分别设置有加热元件，管体内形成加热腔以对通过的源气进行逐级加热。
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