[实用新型]一种在线式薄膜电池膜面清洁装置有效
申请号: | 201620391871.5 | 申请日: | 2016-05-04 |
公开(公告)号: | CN205657045U | 公开(公告)日: | 2016-10-19 |
发明(设计)人: | 魏小涛;王宏杰;周志虎 | 申请(专利权)人: | 江西共青城汉能薄膜太阳能有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 谢德珍 |
地址: | 332020 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种在线式薄膜电池膜面清洁装置,包括镀膜机,镀膜机连接传动线,传动线上设有薄膜电池,所述传动线上设有吹扫机,所述吹扫机包括外壳、抽风机、风刀,外壳两侧边底部各设有2个位置调节器,外壳一侧还设有控制器,外壳一侧设有抽风机,外壳相对抽风机的另一侧设有由旋转轴固定在外壳上的风刀,所述风刀上设有CDA气口,风刀连接CDA气管,所述外壳前后两端外部各设有一个感应器。该装置在薄膜太阳能电池生产过程中,薄膜电池芯片在进行磁控溅射镀膜之前,进行表面粉尘及异物的清理,降低因粉尘或异物导致磁控溅射镀膜质量变差的影响,进而提高薄膜电池产品性能及质量,具有结构简单、效率高、操作方便、易安装的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 在线 薄膜 电池 清洁 装置 | ||
【主权项】:
一种在线式薄膜电池膜面清洁装置,包括镀膜机(11),镀膜机(11)连接传动线(2),传动线(2)上设有薄膜电池(1),其特征在于,所述传动线(2)上设有吹扫机(3),所述吹扫机(3)包括外壳(8)、抽风机(4)、风刀(9),外壳(8)两侧边底部各设有2个位置调节器(7),外壳(8)一侧还设有控制器(5),外壳(8)一侧设有抽风机(4),外壳(8)相对抽风机(4)的另一侧设有由旋转轴(14)固定在外壳(8)上的风刀(9),所述风刀(9)上设有CDA气口(10),风刀(9)连接CDA气管(13),所述外壳(8)前后两端外部各设有一个感应器(6)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西共青城汉能薄膜太阳能有限公司,未经江西共青城汉能薄膜太阳能有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201620391871.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造