[实用新型]一种电沉积系统

摘要

本实用新型涉及一种电沉积系统，包括电沉积槽、阳极板、阴极板、阴极屏蔽装置和阴极板驱动机构，阳极板竖向活动设置在电沉积槽内相对的两个内壁之间，阴极板竖向设置在电沉积槽内，并与阳极板平行设置，阴极板驱动机构安装在阴极板上方的电沉积槽顶部的两侧，且其驱动端连接阴极板的顶部，用于驱动阴极板上下移动以及在平行于阳极板的水平方向横向移动，阴极屏蔽装置活动设置在阳极板与阴极板之间，并分别与阳极板和阴极板平行。优点：结构简单，阴极板驱动灵活，保证阴极板表面电沉积层厚度均一，并且对阴极板进行充分利用，使其表面全范围形成厚度均一的沉积层，且不需反复拆装调整其安装位置方向，使用较为方便。

主权项

一种电沉积系统，其特征在于：包括电沉积槽(1)、阳极板(2)、阴极板(3)、阴极屏蔽装置(4)和阴极板驱动机构，所述阳极板(2)竖向安装在电沉积槽(1)内相对的两个内壁之间，所述阴极板(3)竖向活动设置在所述电沉积槽(1)内，并与所述阳极板(2)平行设置，所述阴极板驱动机构安装在所述阴极板(3)上方的电沉积槽(1)顶部的两侧，且其驱动端连接所述阴极板(3)的顶部，用于驱动所述阴极板(3)上下移动以及在平行于所述阳极板(2)的水平方向横向移动，所述阴极屏蔽装置(4)活动设置在阳极板(2)与阴极板(3)之间，并分别与阳极板(2)和阴极板(3)平行，所述阴极屏蔽装置(4)中部开有贯穿其的通孔。