[实用新型]一种隧道结磁电阻齿轮传感器芯片有效
| 申请号： | 201620297628.7 | 申请日： | 2016-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN205581132U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 沈卫锋;刘劲峰;祁彬;薛松生 | 申请（专利权）人： | 江苏多维科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P3/44 | 分类号： | G01P3/44;G01D5/12 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;段晓玲 |
| 地址： | 215634 江苏省苏州市张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种隧道结磁电阻齿轮传感器芯片。该新型的设计使单个响应区域包含多条响应通道，从而利用单一设计图样可以生产适应各种齿间距的齿轮传感器。同时，此传感器设计采用大响应区域实现超高分辨率。响应区域置于芯片中心部位，有利于诸如磁带，磁栅尺等方面的特定应用。传感器响应方向同响应通道排列方向一致，能够有效避免强背磁场将传感器芯片进入饱和态。此外，隧道结磁电阻齿轮传感器芯片还具有尺寸小，低功耗，大阻抗，高输出信号，高信噪比以及对空气间隙的高适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隧道 磁电 齿轮 传感器 芯片 | ||
【主权项】：
一种隧道结磁电阻齿轮传感器芯片，其特征在于，包括：硅基板，位于硅基板上的一个或多个响应区域，每个响应区域包含至少两个矩形状且沿矩形长边平行排列的响应通道，每个响应通道由至少两条探测臂拼合形成，每条探测臂由至少两条梳齿结构串联而成，每条梳齿结构由至少两个磁电阻及覆盖于所述磁电阻两端的上电极、下电极串连而成，单个所述磁电阻为椭圆柱状结构，所述磁电阻长轴与所述响应通道的长边平行。
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