[实用新型]一种双阳极考夫曼离子源装置

摘要

本实用新型涉及一种新型离子源，特别涉及一种双阳极考夫曼离子源装置。所述装置阴极由绝缘底座、金属板、及栅极及阳极构成，绝缘底座上表面固定金属板，栅极采用金属栅网结构非接触固定在金属板上方，阳极呈圆孔状，非接触固定在栅极上方。这个结构特征增加了电流密度，同时提高了电子发射的稳定性。与现有技术相比，该装置具有阴极寿命长，不易熔断，可以长期使用，通过控制电极，稳定阴极电流的特点。

主权项

一种双阳极考夫曼离子源装置，包括进气口(1)、阴极(2)、阳极筒(3)、放电室(4)、磁棒(5)、屏极(6)、加速极(7)、中和灯丝(8)，其特征在于：所述装置阴极(2)由绝缘底座(22)、金属板(21)、及栅极(23)及阳极(24)构成，绝缘底座(22)上表面固定金属板(21)，栅极(23)采用金属栅网结构非接触固定在金属板(21)上方，阳极(24)呈圆孔状，非接触固定在栅极(23)上方。